Influence of substrates and e-beam evaporation parameters on the microstructure of nanocrystalline and epitaxially grown Ti thin films

نویسندگان

چکیده

Titanium thin films were deposited on silicon nitride (SiNx) coated Si, NaCl, and sapphire substrates varying the deposition conditions using e-beam evaporation to investigate film growth modes. The microstructure texture evolution in dependence of substrate, rate, thickness, substrate temperature studied X-ray diffraction, electron backscatter transmission microscopy. Thin obtained SiNx NaCl nanocrystalline, while transformed from nanocrystalline single crystalline at temperatures above 200 °C. Predominantly, a surface plane orientation (0002) was observed for due minimization energy. relationship epitaxial grown C-plane is found be (0002)Ti ‖ (0006)Sapphire,〈112¯0〉Ti 〈033¯0〉Sapphire. In this relationship, both total strain energy are minimized. results complemented by resistivity measurements four-point probe method reporting an increase ~60 μ Ω cm ~95 μΩ films, respectively.

برای دانلود رایگان متن کامل این مقاله و بیش از 32 میلیون مقاله دیگر ابتدا ثبت نام کنید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

the analysis of the role of the speech acts theory in translating and dubbing hollywood films

از محوری ترین اثراتی که یک فیلم سینمایی ایجاد می کند دیالوگ هایی است که هنرپیش گان فیلم میگویند. به زعم یک فیلم ساز, یک شیوه متأثر نمودن مخاطب از اثر منظوره نیروی گفتارهای گوینده, مثل نیروی عاطفی, ترس آور, غم انگیز, هیجان انگیز و غیره, است. این مطالعه به بررسی این مسأله مبادرت کرده است که آیا نیروی فراگفتاری هنرپیش گان به مثابه ی اعمال گفتاری در پنج فیلم هالیوودی در نسخه های دوبله شده باز تولید...

15 صفحه اول

the influence of social and cultural capital on efl students critical thinking skills

the major aim of this study was to investigate the relationship between social and cultural capital and efl students’ critical thinking skills. this study takes this relationship in to account to see if people with different sociocultural status are different regarding their critical thinking skills. to this end, 160 university students majoring in english language and literature, english trans...

15 صفحه اول

ذخیره در منابع من


  با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ژورنال

عنوان ژورنال: Applied Surface Science

سال: 2021

ISSN: ['1873-5584', '0169-4332']

DOI: https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2021.150194